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納米技術(shù) 小尺寸納米結(jié)構(gòu)薄膜拉伸性能測(cè)定方法
瀏覽次數(shù):423發(fā)布日期:2024-09-30

?GBT 43251-2023?是中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),規(guī)定了小尺寸納米結(jié)構(gòu)薄膜拉伸性能的測(cè)定方法。該標(biāo)準(zhǔn)于2023-11-27發(fā)布,并于2024-06-01實(shí)施。此標(biāo)準(zhǔn)旨在為小尺寸納米結(jié)構(gòu)薄膜的拉伸性能測(cè)試提供一個(gè)統(tǒng)一的方法,適用于長(zhǎng)度和寬度尺寸都小于100 mm的納米結(jié)構(gòu)薄膜。標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容涵蓋了測(cè)定原理、使用的裝置、試樣制備、試驗(yàn)步驟、結(jié)果計(jì)算和表示,以及對(duì)測(cè)量不確定度的說(shuō)明。此外,標(biāo)準(zhǔn)還提供了試驗(yàn)報(bào)告的格式和要求,以確保測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。

該標(biāo)準(zhǔn)的制定是基于市場(chǎng)需求,針對(duì)小尺寸納米結(jié)構(gòu)薄膜的測(cè)試方法缺乏標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范的問(wèn)題?,F(xiàn)有的測(cè)試方法在測(cè)試樣品(形狀與尺寸)和測(cè)試方式(固定與加載)上存在差異,而這些差異會(huì)影響納米結(jié)構(gòu)薄膜力學(xué)性能的量化表征。因此,GBT 43251-2023提出了高精度、低成本的測(cè)試方法,對(duì)試樣的尺寸、樣品的夾持方式、加載速率等進(jìn)行了規(guī)范,旨在為相關(guān)產(chǎn)業(yè)的有序、高效發(fā)展提供支撐。


納米技術(shù)領(lǐng)域中,小尺寸納米結(jié)構(gòu)薄膜的拉伸性能測(cè)定是一項(xiàng)復(fù)雜且精密的實(shí)驗(yàn)過(guò)程,通常涉及高度專業(yè)化的設(shè)備和技術(shù)。以下是測(cè)定這類薄膜拉伸性能的一般方法概述:


1.樣品制備:首先需要制備具有均勻厚度和良好粘附性的薄膜樣品。這通常通過(guò)旋涂、化學(xué)氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)或其他納米加工技術(shù)實(shí)現(xiàn)。


2.測(cè)試設(shè)備選擇:使用原子力顯微鏡(AFM)或微納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)進(jìn)行拉伸性能測(cè)試。這些設(shè)備能夠在微觀甚至納米尺度上精確施加力并測(cè)量樣品的響應(yīng)。


3.測(cè)試環(huán)境控制:測(cè)試應(yīng)在高度控制的環(huán)境下進(jìn)行,以避免溫度、濕度等因素對(duì)結(jié)果的影響。對(duì)于某些敏感材料,可能還需要在真空環(huán)境中進(jìn)行測(cè)試。


4.實(shí)驗(yàn)實(shí)施:


兩點(diǎn)式測(cè)試:在樣品兩端固定,使用微小的夾具,緩慢施加拉力直至樣品斷裂,同時(shí)記錄力-位移曲線。


三點(diǎn)彎曲測(cè)試:雖然名為“三點(diǎn)",但也可用于薄膜拉伸性能評(píng)估,通過(guò)在支撐點(diǎn)之間施加集中力來(lái)測(cè)量彎曲撓度和斷裂強(qiáng)度。


5.數(shù)據(jù)分析:通過(guò)測(cè)量的力-位移曲線,可以計(jì)算出楊氏模量(彈性模量)、斷裂應(yīng)力、斷裂應(yīng)變等關(guān)鍵力學(xué)性能參數(shù)。


此外,該標(biāo)準(zhǔn)還特別強(qiáng)調(diào)了測(cè)試方法和測(cè)試條件的重要性,因?yàn)椴煌臏y(cè)試條件和樣品尺寸選擇會(huì)對(duì)納米結(jié)構(gòu)薄膜的力學(xué)性能產(chǎn)生顯著影響。通過(guò)規(guī)范測(cè)試方法,可以確保測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性和一致性,從而促進(jìn)納米技術(shù)領(lǐng)域的研究和應(yīng)用發(fā)展

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